臭氧通過高壓電離產生，所以潔凈無油、無水、無粉塵的氣源對臭氧發生器的運行至關重要。還可以通過氧氣富集提高臭氧濃度，所以臭氧發生器氣源分為空氣源、富氧源（現場制90%純度氧氣）、純氧源（購買工業氧氣或液態氧）三種。同時臭氧發生器在運行過程中會產生大量的熱量，需要通過冷卻水裝置將熱量帶走，為了防止不合格冷卻水對臭氧發生器造成污染及腐蝕，一般會配置板式換熱裝置，來保證臭氧發生器的長期穩定運行。
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