該真空導入器產品采用高品質的焊接波紋管,保證十萬次以上的循環使用,軸向驅動力可達到150N,在保證超高真空密封的同時,通過手動調節手輪(或電機驅動),實現高精度的直線驅動,精確位置控制,安裝角度自由;根據客戶要求,可以制作各種驅動長度。有波紋管內置型、波紋管外置型和中空型三種結構,客戶根據使用要求選用。
主要參數
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適用范圍:
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105~5x10-7Pa
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真空漏率:
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≤1x10-10Pa.m3/s
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適用溫度:
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-30~300℃
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驅動方式:
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手動
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驅動方向:
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直線
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安裝狀態:
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任意方向
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連接方式:
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CF法蘭或客戶指定
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主要零件材料
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焊接波紋管
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316L
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刻度圓柱
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304
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進給刻度盤
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LV12陽極化
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